IEC 62047-6-2009 半导体装置.微电机装置.第6部分:薄膜材料的轴向疲劳试验方法
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时间:2024-05-15 15:48:43
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【英文标准名称】:Semiconductordevices-Micro-electromechanicaldevices-Part6:Axialfatiguetestingmethodsofthinfilmmaterials
【原文标准名称】:半导体装置.微电机装置.第6部分:薄膜材料的轴向疲劳试验方法
【标准号】:IEC62047-6-2009
【标准状态】:现行
【国别】:国际
【发布日期】:2009-04
【实施或试行日期】:
【发布单位】:国际电工委员会(IX-IEC)
【起草单位】:IEC/SC47F
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:定义;电气工程;疲劳;疲劳限制;材料;微电子学;微小系统技术;试样;半导体器件;规范(验收);系统工程;拉伸应变;拉伸测试;试验;试验装置;试验体系;薄膜;薄膜器件;薄膜技术
【英文主题词】:Basematerials;Definitions;Dimensions;Electricalengineering;Fatigue;Fatiguelimit;Materials;Microelectronics;Microsystemtechniques;Roomairtemperature;Samples;Semiconductordevices;Specification(approval);Systemengineering;Tensilestrain;Tensiletesting;Testing;Testingdevices;Testingsystem;Thinfilms;Thin-filmdevices;Thin-filmtechnology
【摘要】:
【中国标准分类号】:L94;L47
【国际标准分类号】:31_080_01;31_080_99;31_220_01
【页数】:30P;A4
【正文语种】:英语
【原文标准名称】:半导体装置.微电机装置.第6部分:薄膜材料的轴向疲劳试验方法
【标准号】:IEC62047-6-2009
【标准状态】:现行
【国别】:国际
【发布日期】:2009-04
【实施或试行日期】:
【发布单位】:国际电工委员会(IX-IEC)
【起草单位】:IEC/SC47F
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:定义;电气工程;疲劳;疲劳限制;材料;微电子学;微小系统技术;试样;半导体器件;规范(验收);系统工程;拉伸应变;拉伸测试;试验;试验装置;试验体系;薄膜;薄膜器件;薄膜技术
【英文主题词】:Basematerials;Definitions;Dimensions;Electricalengineering;Fatigue;Fatiguelimit;Materials;Microelectronics;Microsystemtechniques;Roomairtemperature;Samples;Semiconductordevices;Specification(approval);Systemengineering;Tensilestrain;Tensiletesting;Testing;Testingdevices;Testingsystem;Thinfilms;Thin-filmdevices;Thin-filmtechnology
【摘要】:
【中国标准分类号】:L94;L47
【国际标准分类号】:31_080_01;31_080_99;31_220_01
【页数】:30P;A4
【正文语种】:英语
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